Descripció dels productes
Material objectiu de polverització plana de titaniés un objectiu metàl·lic utilitzat en la tecnologia de deposició física de vapor (PVD). Fabricat amb metall de titani d'alta-puresa (o aliatges de titani) en plaques planes o en formes de disc, està dissenyat per a aplicacions de pols de corrent continu o RF. El seu valor fonamental rau en proporcionar un alt punt de fusió, baixa densitat, una excel·lent resistència mecànica i una bona inercia química. Les pel·lícules de titani dipositades presenten una alta duresa, resistència a la corrosió i una forta adhesió, servint aplicacions avançades en semiconductors, pantalles, fotovoltaica, emmagatzematge òptic i camps biomèdics.
Especificacions de l'objectiu de la placa de titani
|
Talla normal |
Material |
Composició |
|
12×132×1701 mm |
Ti Gr1 |
99.70% |
|
13×132×1701 mm |
Ti Gr2 |
99.50% |
|
12×170×830 mm |
Ti 4N |
99.99% |
|
8×133×410 mm |
Zr702 |
Zr+Hf>99.2% |
|
8×158×1108 mm |
Ta1 |
99.95% |
|
10×159×1519 mm |
Nb1 |
99.95% |
|
18×152×635 mm |
2N Cr |
99.50% |
|
20×190×740 mm |
3N Cr |
99.90% |
Aplicacions
Semiconductors i microelectrònica:Capes de barrera, capes d'interconnexió i capes conductores de baixa -resistència per a circuits integrats, que requereixen una puresa ultra-superior o igual al 99,995% per a processos d'amplada de línia inferior o igual a 0,18 µm
Pantalles de pantalla plana (LCD/OLED):Pel·lícules primes de titani dipositades sobre substrats de vidre com a elèctrodes o capes de barrera, millorant la durabilitat de la pantalla i el rendiment òptic
Fotovoltaica (Cèl·lules solars de-pel·lícula fina):Elèctrodes posteriors o capes anti-reflex per millorar l'eficiència de conversió fotoelèctrica
Emmagatzematge i comunicació òptica:Capes protectores dures o capes conductores per a CD-ROM, discos òptics i acobladors de fibra òptica
Recobriments resistents a l'enduriment superficial i al desgast-:Capes compostes de Ti/TiN en eines i motlles per millorar significativament la duresa i la resistència a la corrosió
Biomèdica:Modificació superficial de dispositius implantables utilitzant l'excel·lent biocompatibilitat del titani per millorar l'osteointegració
Avantatges del producte
|
Avantatge |
Beneficis clau |
|
Alta puresa, baixes impureses |
Puresa superior o igual al 99,99% suprimeix eficaçment la incorporació d'oxigen/nitrogen, garantint propietats elèctriques/òptiques òptimes |
|
Alta densitat i uniformitat |
Vacuum melting and thermomechanical processing achieve >99,5% de densitat, minimitzant les irregularitats de descàrrega per porositat |
|
Excel·lent resistència mecànica |
Resistència a la flexió Superior o igual a 300 MPa (a un gruix de paret superior o igual a 5 mm) suporta les forces centrífugues en rotació a gran -velocitat de rotació i polverització d'alta-potència |
|
Bona conductivitat tèrmica i dissipació |
La conductivitat tèrmica 21,9 W·m⁻¹·K⁻¹ permet la deposició de 10-15 kW d'alta-potència amb plaques de suport refrigerades per aigua |
|
Resistència a la corrosió i alta -temperatura |
El punt de fusió elevat (1668 graus) i la capa d'òxid passiu del titani garanteixen una estabilitat-a llarg termini en atmosferes d'argó/nitrogen |
|
Flexibilitat de processament |
Disponible en formes planes, circulars, escalonades i personalitzades amb amplis rangs de mida per a diversos equips (sputtering magnètic, làser, deposició de feix d'ions) |
|
Proves estandarditzades |
Els mètodes analítics internacionals (GDMS, LECO) garanteixen el compliment dels estàndards YS/T 893-2013 i GB/T 4698, garantint la traçabilitat del producte |
Propietats químiques
Composició principal:Titani pur (Ti) amb impureses metàl·liques (Fe, Cr, Ni, etc.) Menys o igual a 10 ppm i impureses gasoses (O, N, C, H) Menys o igual a 200 ppm, Menys o igual a 100 ppm, Menys o igual a 50 ppm, Menys o igual a 30 ppm, respectivament (30 ppm/S/T respectivament). estàndards 892/891)
Comportament d'oxidació: Forms dense TiO₂ passivation layer at room temperature, providing excellent corrosion resistance; maintains good stability at high temperatures (>600 graus)
Compatibilitat del substrat:Excel·lent adherència a Si, SiO₂, Al₂O₃, GaAs i substrats de vidre; La força d'unió de la interfície es pot millorar mitjançant el preescalfament o la neteja de superfícies
Propietats mecàniques
|
Paràmetre |
Valor típic |
Observacions |
|
Densitat |
4,54 g·cm⁻³ |
Coherent amb el valor teòric |
|
Duresa |
HV ≈200-250 (depenent del tractament tèrmic) |
L'alta duresa contribueix a la resistència al desgast |
|
Força de flexió |
Superior o igual a 300 MPa (gruix de paret superior o igual a 5 mm) |
Adequat per a objectius giratoris d'-alta velocitat |
|
Mòdul elàstic |
≈110 GPa |
Proporciona una bona rigidesa mecànica |
|
Coeficient d'expansió tèrmica |
8,6 × 10⁻⁶ K⁻¹ (20-100 graus) |
Bona compatibilitat amb substrats comuns |
Pautes de selecció i ús
Requisits de puresa:Pel·lícules funcionals estàndard (decoratives, protecció general): 99,9%-99,99%; Semiconductors/fotovoltaics de gamma alta-: una puresa ultra alta o superior al 99,995% per minimitzar l'impacte de l'oxigen/nitrogen en les propietats elèctriques
Potència i dissipació de calor: High-power (>10 kW) recomana objectius planars amb un gruix superior o igual a 5 mm i una conductivitat tèrmica superior o igual a 21 W·m⁻¹·K⁻¹, combinats amb plaques de suport refrigerades per aigua-per evitar el sobreescalfament localitzat
Dimensions i formes:Objectius circulars o escalonats per a càtodes rotatius; objectius de placa rectangular per a la deposició d'-àrea gran (p. ex., enrotllament-a-revestiment de vidre), personalitzats a les dimensions de l'escenari de l'equip
Tractament superficial:La neteja per ultrasons i l'envasament al buit garanteixen superfícies-sense oli i partícules-; Es recomana una inspecció prèvia a la-instal·lació i un poliment lleuger per reduir la rugositat si cal
FAQ:
En proporcioneu mostres?
R: Sí, oferim mostres gratuïtes amb enviament organitzat pel client. Recomanem provar mostres o fer comandes de prova abans de compres més grans.
P: Què tan competitius són els vostres preus?
R: Els nostres preus reflecteixen un valor excepcional si tenim en compte la qualitat superior i el servei integral que oferim.
P: Quin és el temps de resposta de la vostra cotització?
R: Normalment 24 hores després de la recepció de la consulta. Les sol·licituds urgents reben un tractament prioritari després de la notificació.
P: Com puc sol·licitar productes personalitzats?
R: Si us plau, compartiu els vostres dibuixos, imatges o mostres. Confirmarem les especificacions i iniciarem la producció ràpidament.
Contacte:
Sobre STRX Titanium: per què triar-nos?
Materials Premium:Seleccionem matèries primeres de primera qualitat per garantir el control de qualitat des de la font.
Inspecció de qualitat rigorosa:S'apliquen estàndards d'inspecció de qualitat estrictes per garantir el compliment al 100% dels requisits del client.
Solucions personalitzades:Entenem que cada indústria té necessitats úniques. El nostre equip treballa estretament amb els clients per adaptar els productes en funció dels requisits específics. Personalitzem tots els productes de titani (color/mida, etc.) segons dibuixos o idees dels clients.
Lliurament ràpid:La gestió avançada de la producció garanteix un lliurament ràpid i eficient des de la producció fins a l'enviament.
Suport expert:Obteniu informació del nostre equip d'experts dedicat, que ofereix assessorament professional i assistència pràctica. STRX Titanium l'ajuda a identificar i seleccionar les millors solucions adaptades a les seves necessitats empresarials, assegurant uns resultats i una satisfacció òptims.
STRX Titanium ha obtingut elogis constants dels clients pels productes d'alta-qualitat i els preus competitius. Amb un estricte control de qualitat i un suport tècnic professional, esperem cooperar amb vosaltres!
En resum, STRX Titanium és un fabricant i proveïdor líder de productes de titani a la Xina. Mantenim sòlides associacions tècniques amb els principals fabricants d'equips nacionals i internacionals i mantenim rigorosos estàndards de qualitat per satisfer les demandes dels clients.
Si busqueu un proveïdor de productes de titani fiable, poseu-vos en contacte amb nosaltres immediatament per obtenir més informació sobre els nostres productes i serveis.
Correu electrònic:info@strx-titanium.com
Etiquetes populars: material d'objectiu de pulverització plana de titani, fabricants de material d'objectiu de pulverització plana de titani de la Xina, proveïdors, fàbrica

